众所周知，半导体的晶圆是由硅加工而成的。在经过一系列上游工序后，材料硅被高纯度提炼，溶解后掺入硅晶体晶种，通过直拉法形成圆柱体单晶硅。再经过研磨、抛光、切片等一系列下游工序，形成硅晶圆片，也就是晶圆。作为半导体行业的关键元件，晶圆在后续的半导体加工工序中需要在各个处理站之间快速、精确的传送。

现代技术已可以生产出纳米级厚度的晶圆，如此昂贵、精密、易碎的晶圆在传送过程中，如果依靠人工操作，很容易被损坏，且过程中会使晶圆表面受到污染。所以，真空机器人——真空晶圆搬送机械臂成为晶圆制造的核心设备之一。其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量，体现着整个加工系统的自动化程度和可靠性。

将晶圆从预对准设备上取下，搬运到各个工位进行刻蚀等工艺流程加工，并将加工完的晶圆搬运到接口位置，等待大气机械臂放回晶圆盒。这些工艺流程需要在真空环境下进行，机械臂必须要完全满足真空洁净度的要求，如此对控制精度和可靠性的要求就极为严苛。

不过，纳博特斯克最擅长的就是接受高难度的挑战。经过潜心研究，反复实验，纳博特斯克最终推出了唇形真空密封件与精密减速机RV?紧凑融合而成的齿轮头单元——HR系列，满足了真空晶圆搬送设备的需求，再一次助力推动了半导体行业的发展。该系列产品因采用不会破裂的接触式唇形密封件，结构紧凑，且安装、使用方便，可缩短FPD搬运用机器人、晶圆搬运装置的组装时间，且有相当高的安全性。

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纳博特斯克旨在为客户自动化设备的紧凑化和简单设计、制作、组装提供更加优秀的解决方案。

今后，纳博特斯克也会再接再厉为客户着想，本着客户的需求继续开发新的产品阵容。

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关于纳博特斯克

纳博特斯克集团下属的精密机械公司是精密摆线针轮减速机制造商，生产高性能减速机、中空轴减速机等各类高精尖产品。其生产的精密减速机具有高扭矩、高刚性、高耐过载冲击荷载能力，兼有高精密和超低的背隙。上海纳博特斯克(Nabtesco)传动设备有限公司是2013年由上海机电股份有限公司和日本纳博特斯克株式会社出资共同成立的一家面向中国市场提供精密减速机RV?产品及其技术服务的合资公司。总部设立于中国上海，在广州、重庆等多个城市设有销售办公室。

目前，纳博特斯克的精密减速机RV?产品已在汽车生产、机床、半导体制造、食品工厂、医疗设备、搬运设备、检测设备等领域广泛应用。

纳博特斯克作为精密减速机RV?产品的创立者，致力于不断地产品创新，并始终坚持用独到的传动技术，为工业自动化产品提供安全、可靠、方便使用的高品质产品。以 “强力，细致，灵敏，站在产品制造前沿”为驱动，依靠已有的技术和知识，并进一步加强对本土客户的技术服务能力，帮助客户提升生产效率，降低综合成本，创造更高价值。

上海纳博特斯克传动设备有限公司顺利通过国家机器人检测与评定中心(广州)的CR认证，获得了国内首张行星摆线减速器CR证书，具有代表性意义。

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